Chip MBE-projektet, der er blevet gennemført i de seneste år

Teknologi

Molekylstråleepitaksi, eller MBE, er en ny teknik til dyrkning af tynde krystaller af høj kvalitet på krystalsubstrater. Under ultrahøje vakuumforhold genereres damp ved hjælp af alle nødvendige komponenter, og ovnen udstyres med alle mulige nødvendige komponenter. Derefter kollimeres strålen med atomstrålen eller molekylstrålen og indsprøjtes direkte til den passende temperatur på enkeltkrystalsubstratet. Samtidig kontrolleres molekylstrålens scanning af substratet, hvilket kan få molekylerne eller atomerne i krystaljusteringslagene til at danne en tynd film på substratet.

For normal drift af MBE-udstyr kræves det, at flydende nitrogen med høj renhed, lavt tryk og ultrarent transporteres kontinuerligt og stabilt til udstyrets kølekammer. Generelt har en tank, der leverer flydende nitrogen, et udgangstryk mellem 0,3 MPa og 0,8 MPa. Flydende nitrogen ved -196 ℃ fordamper let til nitrogen under rørledningstransport. Når det flydende nitrogen med et gas-væske-forhold på ca. 1:700 er forgasset i rørledningen, vil det optage en stor mængde flydende nitrogenstrømningsplads og reducere den normale strømning i enden af ​​​​rørledningen med flydende nitrogen. Derudover er der sandsynligvis rester i opbevaringstanken for flydende nitrogen, der ikke er blevet renset. I rørledningen med flydende nitrogen vil tilstedeværelsen af ​​​​våd luft også føre til dannelse af isslagge. Hvis disse urenheder udledes i udstyret, vil det forårsage uforudsigelig skade på udstyret.

Derfor transporteres den flydende nitrogen i den udendørs opbevaringstank til MBE-udstyret i det støvfri værksted med høj effektivitet, stabilitet og renlighed. Med lavt tryk, ingen nitrogen, ingen urenheder, 24 timer i døgnet, er et sådant transportkontrolsystem et kvalificeret produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Matchende MBE-udstyr

Siden 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimeret og forbedret dette system og samarbejdet med internationale MBE-udstyrsproducenter. MBE-udstyrsproducenter, herunder DCA og REBER, har et samarbejde med vores virksomhed. MBE-udstyrsproducenter, herunder DCA og REBER, har samarbejdet om et stort antal projekter.

Riber SA er en førende global leverandør af molekylærstråleepitaksi (MBE) produkter og relaterede tjenester til forskning i sammensatte halvledere og industrielle applikationer. Riber MBE-enheden kan aflejre meget tynde lag af materiale på substratet med meget høje kontroller. Vakuumudstyret hos HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) er udstyret med Riber SA. Det største udstyr er Riber 6000, og det mindste er Compact 21. Det er i god stand og er blevet anerkendt af kunderne.

DCA er verdens førende oxid-MBE. Siden 1993 er der blevet gennemført systematisk udvikling af oxidationsteknikker, opvarmning af antioxidantsubstrater og antioxidantkilder. Af denne grund har mange førende laboratorier valgt DCA-oxidteknologi. Komposit-halvleder-MBE-systemer anvendes over hele verden. VJ-flydende nitrogencirkulationssystemet fra HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) og MBE-udstyret fra flere DCA-modeller har tilsvarende erfaring i mange projekter, såsom model P600, R450, SGC800 osv.

tcm (2)

Ydelsestabel

Shanghai Institut for Teknisk Fysik, Det Kinesiske Videnskabsakademi
Det 11. Institut for Kinas Elektronikteknologiselskab
Institut for Halvledere, Det Kinesiske Videnskabsakademi
Huawei
Alibaba DAMO Akademi
Powertech Technology Inc.
Delta Elektronik Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Opslagstidspunkt: 26. maj 2021

Skriv din besked