Nyheder - Chip MBE -projektet afsluttet i de seneste år

Teknologi

Molekylær bjælkepitaxy eller MBE er en ny teknik til dyrkning af tynde film af høj kvalitet på krystalsubstrater. Under ultrahøj vakuumbetingelser er opvarmningsovnen udstyret med alle slags krævede komponenter og genererer damp, gennem huller dannet efter at have kollimeret stråleatomer eller molekylstråle, direkte injektion til den passende temperatur på det enkelte krystalsubstrat, der kontrollerer molekylstråle til Substratskanningen på samme tid, det kan gøre molekylerne eller atomerne i krystaljusteringslag for at danne en tynd film på en substrat "vækst".

Til den normale drift af MBE-udstyr kræves det, at høj renhed, lavt tryk og ultra-ren flydende nitrogen skal transporteres kontinuerligt og stabilt til udstyrets kølekammer. Generelt har en tank, der tilvejebringer flydende nitrogen, et udgangstryk mellem 0,3MPa og 0,8MPa.Liquid nitrogen ved -196 ℃ fordampes let til nitrogen under rørledningstransport. Når det flydende nitrogen med et gas-væskeforhold på ca. 1: 700 er forgaset i rørledningen, vil det besætte en stor mængde flydende nitrogenstrømningsrum og reducere den normale strømning i slutningen af den flydende nitrogenrørledning. Derudover er der i den flydende nitrogenopbevaringstank sandsynligvis affald, der ikke er blevet renset. I den flydende nitrogenrørledning vil eksistensen af våd luft også føre til generering af isslagge. Hvis disse urenheder udledes i udstyret, vil det forårsage uforudsigelig skade på udstyret.

Derfor transporteres det flydende nitrogen i den udendørs opbevaringstank til MBE-udstyret i støvfrit værksted med høj effektivitet, stabilitet og rent, og det lave tryk, ingen nitrogen, ingen urenheder, 24 timers uafbrudt, et sådant transportkontrolsystem er et kvalificeret produkt.

Matchende MBE -udstyr

Siden 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) optimeret og forbedret dette system og samarbejdet med internationale MBE -udstyrsproducenter. Producenter af MBE -udstyr, herunder DCA, Reber, har samarbejdsrelationer med vores firma. MBE -udstyrsproducenter, inklusive DCA og Reber, har samarbejdet i et stort antal projekter.

Riber SA er en førende global udbyder af Molecular Beam Epitaxy (MBE) -produkter og relaterede tjenester til Compound Semiconductor Research og Industrial Applications. RIBER MBE -enheden kan deponere meget tynde lag af materiale på underlaget med meget høje kontroller. Vakuumudstyret af HL -kryogent udstyr (HL Cryo) er udstyret med Riber SA Det største udstyr er Riber 6000 og det mindste er kompakt 21. Det er i god stand og er blevet anerkendt af kunderne.

DCA er verdens førende oxid MBE. Siden 1993 er systematisk udvikling af oxidationsteknikker, antioxidantsubstratopvarmning og antioxidantkilder blevet udført. Af denne grund har mange førende laboratorier valgt DCA -oxidteknologi. Sammensatte halvleder MBE -systemer bruges over hele verden. VJ -flydende nitrogencirkulerende system af HL -kryogent udstyr (HL Cryo) og MBE -udstyret til flere modeller af DCA har den matchende oplevelse i mange projekter, såsom Model P600, R450, SGC800 osv.