Nyheder - Chip MBE-projektet afsluttet i de seneste år

Teknologi

Molecular beam epitaxy, eller MBE, er en ny teknik til dyrkning af højkvalitets tynde film af krystaller på krystalsubstrater. I ultra-højt vakuum forhold, ved opvarmning brændeovnen er udstyret med alle slags nødvendige komponenter og generere damp, gennem huller dannet efter kollimerende stråle atom- eller molekylær stråle, direkte injektion til den passende temperatur af enkeltkrystal substrat, styring af molekylær stråle til substratet scanner på samme tid, kan det få molekylerne eller atomerne i krystaljusteringslag til at danne en tynd film på et substrat "vækst".

For normal drift af MBE-udstyr kræves høj renhed, lavt tryk og ultrarent flydende nitrogen kontinuerligt og stabilt transporteret til udstyrets kølekammer. Generelt har en tank, der leverer flydende nitrogen, et udgangstryk mellem 0,3 MPa og 0,8 MPa. Flydende nitrogen ved -196 ℃ fordampes let til nitrogen under rørledningstransport. Når først det flydende nitrogen med et gas-væske-forhold på ca. 1:700 er forgasset i rørledningen, vil det optage en stor mængde flydende nitrogenstrømningsplads og reducere den normale strøm for enden af den flydende nitrogenrørledning. Derudover er der i beholderen til flydende nitrogen sandsynligvis snavs, som ikke er blevet renset. I rørledningen med flydende nitrogen vil tilstedeværelsen af våd luft også føre til dannelse af isslagge. Hvis disse urenheder udledes i udstyret, vil det forårsage uforudsigelig skade på udstyret.

Derfor transporteres det flydende nitrogen i den udendørs lagertank til MBE-udstyret i det støvfrie værksted med høj effektivitet, stabilitet og rent, og det lave tryk, ingen nitrogen, ingen urenheder, 24 timer uafbrudt, et sådant transportkontrolsystem er et kvalificeret produkt.

Matchende MBE udstyr

Siden 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimeret og forbedret dette system og samarbejdet med internationale MBE-udstyrsproducenter. MBE udstyrsproducenter, herunder DCA, REBER, har samarbejdsrelationer med vores virksomhed. MBE udstyrsproducenter, herunder DCA og REBER, har samarbejdet i en lang række projekter.

Riber SA er en førende global leverandør af molekylær stråleepitaksi (MBE) produkter og relaterede tjenester til forskning i sammensatte halvledere og industrielle applikationer. Riber MBE-enheden kan afsætte meget tynde lag af materiale på underlaget med meget høj kontrol. Vakuumudstyret i HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) er udstyret med Riber SA Det største udstyr er Riber 6000 og det mindste er Compact 21. Det er i god stand og er blevet anerkendt af kunderne.

DCA er verdens førende oxid-MBE. Siden 1993 er der blevet gennemført systematisk udvikling af oxidationsteknikker, antioxidantsubstratopvarmning og antioxidantkilder. Af denne grund har mange førende laboratorier valgt DCA-oxidteknologi. MBE-systemer med komposit-halvleder bruges over hele verden. VJ flydende nitrogen-cirkulationssystemet af HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) og MBE-udstyret fra flere modeller af DCA har matchende erfaring i mange projekter, såsom model P600, R450, SGC800 osv.