Kølesystemer med flydende nitrogen anvendes i vid udstrækning i halvleder- og chipindustrien, herunder processen med,
- Teknologien bag molekylærstråleepitaksi (MBE)
- Chippens test efter COB-pakke
Relaterede produkter
Vakuumisolerede rørserier
Vakuumisoleret fleksibel slangeserie
Dynamisk vakuumpumpesystem
Vakuumisoleret faseseparatorserie
Vakuumisoleret ventilserie
Udstyr til rørsystemer
Molekylær stråleepitaxi
Teknologien Molecular Beam Epitaxy (MBE) blev udviklet i 1950'erne til at fremstille halvleder-tyndfilmsmaterialer ved hjælp af vakuumfordampningsteknologi. Med udviklingen af ultrahøjvakuumteknologi er anvendelsen af teknologien blevet udvidet til halvledervidenskab.
HL har bemærket efterspørgslen efter MBE flydende nitrogen-kølesystemer, organiseret den tekniske rygrad til succesfuldt at udvikle et specielt MBE flydende nitrogen-kølesystem til MBE-teknologi og et komplet sæt vakuumisolerede rørsystemer, som er blevet brugt i mange virksomheder, universiteter og forskningsinstitutioner.
De almindelige problemer i halvleder- og chipindustrien omfatter,
- Trykket af flydende nitrogen i terminaludstyr (MBE). Forhindr trykoverbelastning, der beskadiger terminaludstyr (MBE).
- Flere ind- og udløbskontroller for kryogen væske
- Temperaturen af flydende nitrogen i terminaludstyr
- En rimelig mængde kryogene gasemissioner
- (Automatisk) omskiftning af hoved- og sideledninger
- Trykjustering (reduktion) og stabilitet af VIP
- Fjernelse af mulige urenheder og isrester fra tanken
- Påfyldningstid for terminalvæskeudstyr
- Forkøling af rørledninger
- Væskemodstand i VIP-system
- Kontroltab af flydende nitrogen under diskontinuerlig drift af systemet
HL's vakuumisolerede rør (VIP) er bygget i henhold til ASME B31.3 trykrørskode som standard. Teknisk erfaring og kvalitetskontrol sikrer effektiviteten og omkostningseffektiviteten af kundens anlæg.
LØSNINGER
HL Cryogenic Equipment leverer vakuumisolerede rørsystemer til kunder, der opfylder kravene og betingelserne i halvleder- og chipindustrien:
1. Kvalitetsstyringssystem: ASME B31.3 Trykrørskode.
2. En speciel faseseparator med flere kryogene væskeindløb og -udløb med automatisk kontrolfunktion opfylder kravene til gasemission, genbrugt flydende nitrogen og temperaturen for flydende nitrogen.
3. Tilstrækkeligt og rettidigt udstødningsdesign sikrer, at terminaludstyr altid fungerer inden for den designede trykværdi.
4. Gas-væske-barrieren placeres i det vertikale VI-rør for enden af VI-rørledningen. Gas-væske-barrieren bruger gastætningsprincippet til at blokere varme fra enden af VI-rørledningen ind i VI-rørledningen og effektivt reducere tabet af flydende nitrogen under diskontinuerlig og intermitterende drift af systemet.
5. VI-rør styret af vakuumisolerede ventiler (VIV)-serien: Inklusive vakuumisolerede (pneumatiske) afspærringsventiler, vakuumisolerede kontraventiler, vakuumisolerede reguleringsventiler osv. Forskellige typer VIV kan modulært kombineres for at styre VIP'en efter behov. VIV er integreret med VIP-præfabrikation fra producenten uden isoleringsbehandling på stedet. VIV's tætningsenhed kan nemt udskiftes. (HL accepterer det kryogene ventilmærke, som kunderne har angivet, og producerer derefter vakuumisolerede ventiler af HL. Nogle ventilmærker og -modeller kan muligvis ikke laves om til vakuumisolerede ventiler.)
6. Renlighed, hvis der er yderligere krav til overfladens renhed på inderrøret. Det anbefales, at kunderne vælger BA- eller EP-rustfri stålrør som VIP-inderrør for yderligere at reducere spild af rustfrit stål.
7. Vakuumisoleret filter: Fjern mulige urenheder og isrester fra tanken.
8. Efter et par dages eller længere nedlukning eller vedligeholdelse er det meget nødvendigt at forkøle VI-rørene og terminaludstyret, før kryogen væske trænger ind, for at undgå isslagge, når kryogen væske er kommet direkte ind i VI-rørene og terminaludstyret. Forkølelsesfunktionen bør tages i betragtning ved design. Det giver bedre beskyttelse af terminaludstyr og VI-rørsstøtteudstyr, såsom ventiler.
9. Velegnet til både dynamiske og statiske vakuumisolerede (fleksible) rørsystemer.
10. Dynamisk vakuumisoleret (fleksibelt) rørsystem: Består af fleksible VI-slanger og/eller VI-rør, jumperslanger, vakuumisoleret ventilsystem, faseseparatorer og dynamisk vakuumpumpesystem (inklusive vakuumpumper, magnetventiler og vakuummålere osv.). Længden af den enkelte fleksible VI-slange kan tilpasses efter brugerens behov.
11. Forskellige forbindelsestyper: Vakuumbajonetforbindelse (VBC) og svejset forbindelse kan vælges. VBC-typen kræver ikke isoleringsbehandling på stedet.
