Kølesystemerne med flydende nitrogen er meget udbredt i halvleder- og chipindustrien, herunder processen med,
- Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Chippens test efter COB-pakke
Relaterede produkter
Vakuumisoleret rørserie
Vakuumisoleret fleksibel slangeserie
Dynamisk vakuumpumpesystem
Vakuumisoleret faseseparatorserie
Vakuumisoleret ventilserie
Rørsystemstøtteudstyr
MOLEKYLÆR BJÆLLEEPITAKSI
Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE) blev udviklet i 1950'erne for at fremstille halvleder tyndfilmmaterialer ved hjælp af vakuumfordampningsteknologi. Med udviklingen af ultrahøjvakuumteknologi er anvendelsen af teknologi blevet udvidet til området for halvledervidenskab.
HL har bemærket efterspørgslen efter MBE flydende nitrogen kølesystem, organiseret teknisk rygrad for med succes at udvikle et specielt MBE flydende nitrogen kølesystem til MBE teknologi og et komplet sæt vakuumisoleret rørsystem, som er blevet brugt i mange virksomheder, universiteter og forskningsinstitutter .
De almindelige problemer i halvleder- og chipindustrien inkluderer,
- Trykket af flydende nitrogen ind i terminaludstyr (MBE). Undgå trykoverbelastning fra beskadigende terminaludstyr (MBE).
- Flere kryogene væskeindløbs- og udløbskontroller
- Temperaturen af flydende nitrogen i terminaludstyr
- En rimelig mængde af kryogene gasemissioner
- (Automatisk) Skift af hoved- og stikledninger
- Trykjustering (reducerende) og stabilitet af VIP
- Fjernelse af mulige urenheder og isrester fra tanken
- Påfyldningstid for det terminale flydende udstyr
- Rørledningsforkøling
- Væskemodstand i VIP-system
- Kontroltab af flydende nitrogen under uafbrudt service af systemet
HL's Vacuum Insulated Pipe (VIP) er bygget til ASME B31.3 Pressure Piping-kode som standard. Ingeniørerfaring og kvalitetskontrolevne for at sikre effektiviteten og omkostningseffektiviteten af kundens anlæg.
LØSNINGER
HL Cryogenic Equipment giver kunderne det vakuumisolerede rørsystem for at opfylde kravene og betingelserne for halvleder- og chipindustrien:
1. Kvalitetsstyringssystem: ASME B31.3 Trykrørskode.
2. En specialfaseseparator med flere kryogene væskeindtag og -udløb med automatisk kontrolfunktion opfylder kravet om gasudledning, genbrugt flydende nitrogen og temperatur for flydende nitrogen.
3.Tilstrækkeligt og rettidigt udstødningsdesign sikrer, at terminaludstyr altid fungerer inden for den beregnede trykværdi.
4. Gas-væskebarrieren placeres i det lodrette VI-rør for enden af VI-rørledningen. Gas-væskebarriere bruger gastætningsprincippet til at blokere varmen fra enden af VI-rørledningen ind i VI-røret og effektivt reducere tabet af flydende nitrogen under diskontinuerlig og intermitterende service af systemet.
5.VI Rør styret af den vakuumisolerede ventil (VIV) serien: Inklusiv vakuumisoleret (pneumatisk) afspærringsventil, vakuumisoleret kontraventil, vakuumisoleret reguleringsventil osv. Forskellige typer af VIV kan kombineres modulært for at styre VIP'en som f.eks. påkrævet. VIV er integreret med VIP præfabrikation i producent, uden on-site isoleret behandling. Tætningsenheden på VIV kan nemt udskiftes. (HL accepterer det kryogene ventilmærke, der er udpeget af kunderne, og laver derefter vakuumisolerede ventiler af HL. Nogle mærker og modeller af ventiler kan muligvis ikke laves om til vakuumisolerede ventiler.)
6.Renhed, hvis der er yderligere krav til inderrørets overfladerenhed. Det foreslås, at kunderne vælger BA eller EP rustfri stålrør som VIP inderrør for yderligere at reducere spild af rustfrit stål.
7. Vakuumisoleret filter: Fjern eventuelle urenheder og isrester fra tanken.
8. Efter et par dage eller længere nedlukning eller vedligeholdelse er det meget nødvendigt at forkøle VI Piping og terminaludstyr, før der kommer kryogen væske ind, for at undgå isslagge efter at kryogen væske kommer direkte ind i VI Piping og terminaludstyr. Forkølelsesfunktion bør overvejes i designet. Det giver bedre beskyttelse af terminaludstyr og VI Piping-støtteudstyr såsom ventiler.
9. Passer til både dynamisk og statisk vakuumisoleret (fleksibelt) rørsystem.
10. Dynamisk vakuumisoleret (fleksibelt) rørsystem: Består af VI fleksible slanger og/eller VI rør, jumper slanger, vakuumisoleret ventilsystem, faseseparatorer og dynamisk vakuumpumpesystem (inklusive vakuumpumper, magnetventiler og vakuummålere osv. ). Længden af en enkelt VI fleksibel slange kan tilpasses efter brugerens krav.
11.Forskellige forbindelsestyper: Vacuum Bajonet Connection (VBC) Type og svejset forbindelse kan vælges. VBC-typen behøver ikke isoleret behandling på stedet.
