De flydende nitrogenkølesystemer er vidt brugt i halvleder- og chipindustrien, herunder processen med,
- Teknologien til Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Chipens test efter COB -pakken
Relaterede produkter
Vakuumisoleret rørserie
Vakuumisoleret fleksibel slangeserie
Dynamisk vakuumpumpesystem
Vakuumisoleret faseseparatorserie
Vakuumisoleret ventilserie
Supportudstyr til rørsystem
Molekylær bjælkepitaxy
Teknologien til molekylærbjælkepitaxy (MBE) blev udviklet i 1950'erne for at fremstille halvledertynde filmmaterialer ved hjælp af vakuumfordampningsteknologi. Med udviklingen af ultrahøj vakuumteknologi er anvendelsen af teknologi blevet udvidet til området halvledervidenskab.
HL har bemærket efterspørgslen efter MBE -flydende nitrogenkølingssystem, organiseret teknisk rygrad til med succes at udvikle et specielt MBE -flydende nitrogen -cooing -system til MBE -teknologi og et komplet sæt vakuumisoleret rørsystem, der er blevet brugt i mange virksomheder, universiteter og forskningsinstitutter .
De almindelige problemer i halvleder- og chipindustrien inkluderer,
- Trykket af flydende nitrogen til terminal (MBE) udstyr. Undgå trykoverbelastning i at skade terminal (MBE) udstyr.
- Flere kryogene væskeindløb og udløbskontroller
- Temperaturen på flydende nitrogen til terminaludstyr
- En rimelig mængde kryogene gasemissioner
- (Automatisk) Skift af hoved- og grenlinjer
- Trykjustering (reduktion) og stabilitet af VIP
- Rengøring af de mulige urenheder og isrester fra tank
- Fyldningstid for terminalvæskeudstyret
- Pipeline -forkøling
- Flydende modstand i VIP -systemet
- Kontroltab af flydende nitrogen under diskontinuerlig service af systemet
HLs vakuumisolerede rør (VIP) er bygget til ASME B31.3 Trykrørskode som standard. Ingeniørerfaring og kvalitetskontrolevne for at sikre effektiviteten og omkostningseffektiviteten af kundens anlæg.
Løsninger
HL -kryogent udstyr giver kunderne det vakuumisolerede rørsystem til at imødekomme kravene og betingelserne for halvleder- og chipindustrien:
1. Kvalitetsstyringssystem: ASME B31.3 Trykrørskode.
2. En speciel faseseparator med multiple kryogene væskeindløb og udløb med automatisk kontrolfunktion opfylder kravet om gasemission, genanvendt flydende nitrogen og temperatur i flydende nitrogen.
3. Tilstrækkelig og rettidig udstødningsdesign sikrer, at terminaludstyr altid fungerer inden for den designede trykværdi.
4. Gas-væskebarrieren anbringes i det lodrette VI-rør i slutningen af VI-rørledningen. Gas-væskebarriere bruger gasforseglingsprincippet til at blokere varmen fra enden af VI-rørledningen ind i VI-rørledningen og reducerer effektivt tabet af flydende nitrogen under diskontinuerlig og intermitterende service af systemet.
5.VI-rørstyret kontrolleret af Vacuum Isoleret Ventil (VIV) -serien: inklusive vakuumisoleret (pneumatisk) lukningsventil, vakuumisoleret kontrolventil, vakuumisoleret reguleringsventil osv. Forskellige typer VIV kan moduleres for at kontrollere VIP som AS krævet. VIV er integreret med VIP-præfabrikation i producenten uden isoleret behandling på stedet. SEAL -enheden for VIV kan let udskiftes. (HL accepterer det kryogene ventilmærke, der er udpeget af kunderne, og fremstiller derefter vakuumisolerede ventiler af HL. Nogle mærker og modeller af ventiler kan muligvis ikke fremstilles til vakuumisolerede ventiler.)
6.Cleanhed, hvis der er yderligere krav til den indre røroverflade -renlighed. Det foreslås, at kunderne vælger BA- eller EP rustfrit stålrør som VIP -indre rør for yderligere at reducere spild af rustfrit stål.
7.Vacuum Isoleret filter: Rengør de mulige urenheder og isrester fra tank.
8. Efter et par dage eller længere nedlukning eller vedligeholdelse er det meget nødvendigt at forkole VI -rør- og terminaludstyret, før kryogen væske indtastes, for at undgå isslagge, efter at kryogen væske direkte kommer ind i VI -rør- og terminaludstyret. Forkølingsfunktion skal overvejes i design. Det giver bedre beskyttelse af terminaludstyr og VI -rørestøtteudstyr såsom ventiler.
9.suit til både dynamisk og statisk vakuumisoleret (fleksibelt) rørsystem.
10.Dynamisk vakuumisoleret (fleksibelt) rørsystem: består af VI fleksible slanger og/eller VI -rør, jumperslanger, vakuumisoleret ventilsystem, faseseparatorer og dynamisk vakuumpumpesystem (inklusive vakuumpumper, magnetventiler og vakuummåler osv. ). Længden af enkelt VI -fleksibel slange kan tilpasses i henhold til brugerens krav.
11.Various Forbindelsestyper: Vacuum Bayonet Connection (VBC) type og svejset forbindelse kan vælges. VBC-typen har ikke brug for isoleret behandling på stedet.
